Газопроницаемость изделий из кварцевого стекла 5th-Fri-2022
2026-05-04
Структура кварцевого стекла является рыхлой, и при высоких температурах оно также допускает диффузию ионов некоторых газов через свою сетку, причём наиболее быстрой является диффузия ионов натрия.
Данное свойство кварцевого стекла имеет важное значение для пользователей. Например, при использовании кварцевого стекла в полупроводниковой промышленности в качестве высокотемпературных контейнеров или диффузионных трубок, поскольку полупроводниковые материалы требуют чрезвычайно высокой чистоты, огнеупорные материалы, контактирующие с кварцевым стеклом и служащие футеровкой печи, должны предварительно пройти высокотемпературную обработку и очистку для удаления таких щелочных примесей, как калий и натрий, и только после этого их можно помещать в кварцевое стекло для использования.
При комнатной температуре кварцевое стекло можно считать газонепроницаемым, а при высоких температурах (например, 700 °C) константы газопроницаемости для некоторых газов также остаются крайне малыми. Благодаря этому оно может применяться в высокотемпературном высоковакуумном оборудовании.
