
Название продукта: Катод из матового кварца высокой чистоты, высокой температуры и коррозионной стойкости
Размеры: 95 мм × 91 мм × 44,5 мм
Название продукта: Высокочистый, высокотемпературный, коррозионностойкий матовый кварцевый катод
Размеры: 95 мм × 91 мм × 44,5 мм
Изготовлен из высокочистого кварца в виде цельного куска, с одно- или двухсторонним тонким матированием, обладает высокой термостойкостью, сильной коррозионной стойкостью, отсутствием осаждения металлов, изоляцией, а также высокими характеристиками светопропускания и рассеивания. В основном используется в процессах нанесения покрытий, вакуумного напыления, электрохимии, лабораторной плазмы и полупроводниковой оптоэлектроники:
(1) Лабораторная химия и электрохимия
Аксессуары для катода плазменной реакционной камеры: Встроенное изолирующее основание катода для вакуумной плазменной очистки и ионного травления; матовая поверхность равномерно рассеивает плазменный луч, улучшая однородность реакции;
Электрохимические эксперименты по коррозии: Изолирующая подложка для испытаний электролиза в сильных кислотах и щелочах, фторсодержащих электролитах, изоляция примесей металлического электрода и предотвращение загрязнения электролита.
(2) Полупроводниковая/фотоэлектрическая микроэлектронная промышленность (основные области применения)
Кварцевые катодные площадки для нанесения покрытий методом магнетронного распыления и PVD: Поддержка металлических мишеней и подложек; матовая поверхность ослабляет локальный дуговой разряд и стабилизирует однородность покрытия; высокочистые материалы предотвращают осаждение ионов металла, устраняя примеси и дефекты пленки;
Изолированные катодные сборки для вакуумных камер при изготовлении оптоэлектронных чипов и тонкопленочных устройств, подходящие для высокочистых электронных процессов.
(3) Новые материалы и тонкопленочные химические вещества
Катодные подложки для функциональных приспособлений для нанесения тонких пленок и нанопокрытий; не деформируются и не выделяют загрязняющих веществ в условиях высокотемпературного вакуума;
Изолированные основания для емкостей плазменной реакции в литий-ионных батареях, предназначенные для изготовления проводящих и каталитических тонких пленок; устойчивы к воздействию паров прекурсоров и коррозии.
(4) Специальные условия контроля вакуумной оптоэлектроники
Источник ультрафиолетового плазменного света с соответствующим катодным основанием; матовый кварц рассеивает ультрафиолетовый свет, обеспечивая стабильную выходную мощность источника света;
Непрерывное использование в высокотемпературном вакууме при 200–1100 ℃, подходит для процессов высокотемпературной ионной активации и высокотемпературного осаждения из паровой фазы.