
Размер изделия: 127 × 127 × 3 мм (подходит для 5-дюймовых пластин)
◆ Название продукта: 5-дюймовая калибровочная пластина для полировки стеклянных пластин с пятью отверстиями
◆ Размер изделия: 127 × 127 × 3 мм (подходит для 5-дюймовых пластин)
◆ Характеристики продукта: сверхвысокая плоскостность, точный допуск апертуры, низкое напряжение, однородная оптика, устойчивость к кислотной и щелочной очистке, высокая стабильность размеров.
Высокоточная калибровочная подложка с 5 отверстиями отличается высокой точностью в плоскости и равномерным размером отверстия. Она в основном используется для калибровки полупроводникового оборудования с 5-дюймовыми пластинами, калибровки зондовой станции, визуального контроля AOI и калибровки центровки твердотельных кристаллов:
1. Проверка полупроводниковых пластин
Эталонная проверка формы и плоскостности 1,5-дюймовой кремниевой пластины, позиционирование с пятью отверстиями используется для калибровки координат оборудования, заменяя ежедневную проверку стандартных пластин. 2.Контрольная плата оптического детектора AOI корректирует фокусное расстояние и точность распознавания объектива, чтобы уменьшить ошибки обнаружения.
2. Процесс упаковки и зондирования
Измерительная станция определяет местоположение контрольного элемента и проверяет точку измерения и плоскостность платформы с помощью пяти отверстий. 2. Калибровка центровки твердосплавного кристаллографического станка и установочного станка корректирует отклонение позиционирования механического приспособления.
3. Лаборатория оптической метрологии
Стандартная калибровочная плата устройства для проверки изображений и профилирования должна регулярно проверять точность измерений оборудования.
4. Калибровка оборудования автоматизированной производственной линии
Оснастка полупроводникового оборудования автоматизации откалибрована, и повторная очистка не приводит к деформации.
Двусторонняя прецизионная полировка, минимальная деформация поверхности пластины, строгий допусковой контроль соосности и апертуры пяти отверстий, устойчивость к воздействию обычно используемых чистящих жидкостей для полупроводников, длительное многократное использование, стабильная точность, специальные стандартные калибровочные детали для полупроводниковой промышленности.