
Размер изделия: подходит для 9-дюймовых пластин стандартного размера
◆ Название продукта: 9-дюймовая пластинчатая калибровочная стеклянная пластина
◆ Размер изделия: подходит для 9-дюймовых пластин стандартного размера
◆ Характеристики продукта: сверхвысокая плоскостность, высокоточные допуски, однородная оптика, низкое напряжение, хорошая стабильность размеров, устойчивость к обычной химической очистке.
Высокоточное калибровочное стекло основано на таких характеристиках, как стабильная плоскостная точность и однородная оптика. Оно в основном используется для контроля процесса изготовления полупроводниковых пластин, калибровки центровки литографических машин, калибровки зондовых станций и калибровки оборудования для оптической визуализации:
1. Проверка полупроводниковых пластин
Эталонная калибровка кремниевых пластин размером 1,9 дюйма, их плоскостности и деформации, заменяющая стандартные пластины для ежедневной калибровки оборудования. 2. Эталонная калибровочная плата устройства для оптического контроля внешнего вида пластин AOI унифицирует точность контроля оборудования.
2. Процесс литографии и упаковки
Литографская машина и твердокристаллическая машина выравнивают эталонную пленку и регулярно корректируют точность объектива и платформы оборудования, чтобы снизить качество изготовления.
3. Испытательное оборудование для зондирования
Измерительная станция устанавливает контрольную плату для проверки координат датчика и плоскостности платформы, чтобы обеспечить точное электрическое тестирование пластины.
4. В-четвертых, оптическая лабораторная калибровка
Стандартное эталонное стекло для приборов измерения изображений и профилографов, точность работы которых регулярно корректируется.
Поверхность платы точно отполирована, допуск на плоскостность строгий, тепловая деформация очень мала, при повторной очистке деформироваться нелегко, а точность при длительном использовании стабильна. Это специальный стандартный калибровочный элемент для полупроводникового оборудования.